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改善電性鈣測試法感測機構以降低水氧穿透率量測極限值之研究

為了解決Samsung Z Fold 4的問題，作者莊雅雯 這樣論述：

軟性有機發光二極體 ( OLED ) 已逐漸應用如裝置藝術、手機與電器螢幕、區域照明等產品，軟性OLED一般以阻水氣值大於0.1 g/m2/day的塑膠為基材，容易造成OLED的特性劣化，因此通常必須在塑膠基材上沉積極低水氣滲透性( water vapor transmission rate, WVTR ) 的阻氣層，而開發能準確評估水氧穿透率量測系統具必要的。 本研究欲透過改變鈣感測機構中所使用之零組件材料和除氣條件，優化電性鈣測試法的感測極限。研究方法是利用熱蒸鍍製作一層300 nm鈣薄膜於玻璃基材，並封裝於一封裝機構中，進行包括封裝機構零組件材料與除氣條件優化的實驗。除氣

條件包括除氣溫度 ( 100 oC ~150 oC ) 與除氣時間 ( 1~4小時 ) 參數的調整，完成封裝後的鈣感測膜在進行7天的電性量測，觀察鈣感測膜電導隨時間變化的趨勢，分析零組件、除氣溫度與除氣時間對鈣感測膜WVTR ( water vapor transmission rate ) 量測極限值之影響。 研究結果發現，當鈣感測機構使用Teflon材料、JPE閥門和銅雙面膠帶電極等零組件時，鈣感測元件於手套箱中可以得到相對較佳的WVTR值。將除氣時間設定為1小時，除氣溫度增加至150 oC時，鈣感測機構可以達到4.16 × 10-4 g/m2/day的WVTR值，持續增加除氣時間至

4小時，則WVTR值可以達到預期的 < 10-6 g/m2/day，顯示增加除氣時間能有效改善鈣測試的感測極限值。但在大氣環境下，因為如閥門的外部組件仍有微漏氣的情形， WVTR值只能達到3.28 × 10-4 g/m2/day。 我們團隊在建立商用鈣測試法中，已開發一台鈣測試系統能結合鈣測試感測機構來進行電性測試。目前鈣測試感測機構內部可以達到WVTR < 10-6 g/m2/day，但在大氣環境下最低的WVTR值為3.28 × 10-4 g/m2/day，未來需改善鈣感測機構外部微漏氣的問題，使可以達到商用化WVTR < 10-6 g/m2/day的目標。